Interscience zet nieuwe stappen voorwaarts in de analyse van vluchtige organische componenten (VOC & TOC). Deze componenten vormen al jaren een uitdaging binnen de SEMICON industrie,vooral wanneer ze dienen gemeten worden aan zeer lage concentraties. Vanuit onze IS‐X labs hebben we nieuwe ideeën en technologieën ontwikkeld en geïntegreerd. Toepassingen zijn zeer specifiek, zoals de online analyse van proces-lucht, monitoring van cleanrooms en bepalen van blootstelling in het kader van arbeidshygiëne en milieu.
Moderne aanpak voor de analyse van « cleanroom » contaminanten.
Cleanroom contaminanten verstoren de productie van chips en zijn daarnaast ook gevaarlijk voor mens en milieu. Op basis vankrachtige nieuwe technologie ontwikkelde het IS‐X team eengedegen oplossing om deze exotische VOCs in situ te meten.
TOC-GC-Analyser met een aangepaste Thermische- desorptieautomaat.
Met deze configuratie bent u volledig uitgerust om de TOC metingen conform de ASML (GSA 07-9170) uit te voeren. De typische knelpunten worden door optimaal gebruik te maken van de software, handig ontweken. Het systeem is modulair opgebouwd en bestaat globaal uit de Trace1600 series gaschromatograaf en de TD-eenheid met volledig aansturend Chromeleon datasysteem.
TD GC-FID systeem voor TOC metingen conform GSA 07-9710/ASML